真空檢漏的具體方法 檢漏步驟為: 1.用力按壓氣袋從粗抽閥開始向爐體方向噴吹氦氣，第-遍針頭移動的速度可以快些，對設(shè)備的全部焊口、法蘭連接、動密封、熱電偶連接等處進行檢漏，在焊口不規(guī)整及法蘭連接縫隙不均勻處將噴吹移動速度放緩并進行細致檢查。 2.不按壓氣袋，用針頭緩慢地對位置進行檢查，漏孔會吸入針頭中存有的少氦氣，觀測檢漏儀屏幕漏率值噴吹過程中的變化，找到漏率大且上升快的點即是漏點。
氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態(tài)的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學性能穩(wěn)定。在檢測器件的密封性能時，遇到器件大漏時，有大量的氦氣進入氦質(zhì)譜檢漏儀，短時間內(nèi)儀器內(nèi)部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。
對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠進行。
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